項(xiàng)目描述

半導(dǎo)體制造需要采用危險(xiǎn)的化學(xué)品和氣體進(jìn)行精確的納米級(jí)操作。危險(xiǎn)氣體和空氣中氧氣的比例若是異常的高，可能會(huì)導(dǎo)致發(fā)生昂貴的故障，甚至以生命作為代價(jià)。傳統(tǒng)意義上，半導(dǎo)體廠商都使用可編程邏輯控制器（PLC）進(jìn)行來(lái)監(jiān)控氧氣濃度，控制報(bào)警和管理通風(fēng)系統(tǒng)，以便隨時(shí)通入新鮮氧氣來(lái)盡快恢復(fù)濃度比例。盡管PLC非常適合此類控制應(yīng)用，但其被動(dòng)的通信機(jī)制成為一大限制。特別是，中央SCADA系統(tǒng)必須采用傳統(tǒng)的RS-485來(lái)反復(fù)輪詢氧氣傳感器，這意味著無(wú)法獲得實(shí)時(shí)的氧氣濃度數(shù)據(jù)。世界上最大的半導(dǎo)體制造商需要一種解決方案，來(lái)監(jiān)控實(shí)時(shí)的氧氣濃度，觸發(fā)報(bào)警，以及控制通風(fēng)系統(tǒng)。

系統(tǒng)需求

• 氣體濃度異常時(shí)，向控制中心和SCADA系統(tǒng)發(fā)出實(shí)時(shí)報(bào)警
• 具有邏輯控制的本地報(bào)警，提醒氣體濃度
• 混合的模擬和數(shù)字I/O解決方案，兼容更多設(shè)備
• 高可靠性
• 以太網(wǎng)通信

Moxa解決方案

與被動(dòng)等待中央SCADA系統(tǒng)輪詢遠(yuǎn)程傳感器不同，ioLogik E2242系列以太網(wǎng)I/O具有本地智能通訊能力，在模擬氣體讀數(shù)發(fā)生變化是，可以主動(dòng)向SCADA系統(tǒng)發(fā)出更新。這種主動(dòng)通訊的架構(gòu)比傳統(tǒng)的輪詢架構(gòu)可以減少更多的網(wǎng)絡(luò)帶寬需求，同事還可確保SCADA系統(tǒng)獲得實(shí)時(shí)的氣體讀數(shù)。Moxa獨(dú)有的自動(dòng)標(biāo)簽生成技術(shù)大大簡(jiǎn)化了這些功能的配置，所以SCADA工程師可以專注于系統(tǒng)的其他部分，而無(wú)需浪費(fèi)時(shí)間在OPC server上建立標(biāo)簽。

更具體地說(shuō)，ioLogik E2242的免編程前端控制邏輯Click&Go™可以使I/O設(shè)備觸發(fā)本地報(bào)警，然后啟動(dòng)風(fēng)扇將新鮮氧氣送入車間，并同時(shí)以email、TCP、UDP或SNMP trap將氧氣含量低的報(bào)警信息發(fā)送至運(yùn)營(yíng)控制中心OCC。當(dāng)OCC的中央計(jì)算機(jī)接到報(bào)警信息，會(huì)發(fā)送一個(gè)遠(yuǎn)程操作關(guān)閉ioLogik的報(bào)警功能。最后，當(dāng)ioLogik E2242監(jiān)測(cè)出含氧量已達(dá)安全值時(shí)，會(huì)主動(dòng)關(guān)閉風(fēng)扇。在這個(gè)過(guò)程中，ioLogik E2242智能以太網(wǎng)I/O可以提供實(shí)時(shí)的氧氣濃度數(shù)據(jù)，并報(bào)警、通風(fēng)控制，以保證半導(dǎo)體制造過(guò)程的安全平穩(wěn)。

Why Moxa

• 標(biāo)簽即時(shí)更新，Active OPC Server提供實(shí)時(shí)監(jiān)控
• 菊花鏈拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)，降低布線成本
• 只有達(dá)到閥值時(shí)才會(huì)發(fā)送狀態(tài)報(bào)告，減少不必要的網(wǎng)絡(luò)流量